特許
J-GLOBAL ID：200903036726382280
位相または周波数の検出を用いる軽打原子間力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-523775
公開番号（公開出願番号）：特表平10-507000
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】原子間力顕微鏡のプローブ先端を一定周波数および振幅目標値で振動させ、試料と断続的に接触させて一定の振幅で試料の表面を走査させる。位相変化や振動の共振周波数の変化を測定し、プローブ先端と試料との間の粘着を決定する。プローブが試料表面を打つことにより各サイクルで失われるエネルギよりプローブレバーアームにおけるエネルギが確実にかなり大きくなるように、プローブの振動の目標値振幅を10ナノメートルより大きくし、プローブ先端が試料表面に粘着しないようにする。力依存の試料特性は、異なる軽打振幅目標値で得られたデータを比較することにより決定される。
請求項（抜粋）：
レバーアームの1端に取り付けられ、試料の表面を走査するプローブ先端を有するプローブを備え、プローブ先端を走査させた時にレバーアームの位置決めに関連して試料の表面を表すデータを収集する原子間力顕微鏡を動作させる方法において、 a)前記プローブの共振周波数またはその付近、あるいは前記共振周波数の調波において、振動しているプローブ先端が前記試料の表面と接触した時に前記振動しているプローブ先端が前記試料の表面に粘着しないように十分に大きな自由振動振幅Aoで、前記プローブ先端を振動させることを含む、前記プローブを振動させる段階と、 b)前記振動プローブ先端が前記試料の表面を繰り返し軽打して、前記試料の表面に粘着することなく前記プローブ先端が前記試料の表面と繰り返し接触し、接触を断つように、前記振動プローブ先端を位置決めする段階と、 c)前記振動プローブ先端が繰り返し前記試料の表面を軽打している時に、前記振動しているプローブ先端を前記試料の表面で並進させる段階と、 d)前記プローブ先端の振動振幅が、前記並進段階中、振幅目標値において本質的に一定に維持されるように、前記プローブ先端と反対側の前記レバーアームの反対端と前記試料との間の距離を制御する段階と、 e)前記プローブ先端を並進させ、前記プローブ先端の振動振幅が本質的に一定振幅に維持されている間に、前記プローブ先端の振動の位相変化を検出する段階と、 f)前記検出段階において検出された位相変化を表す信号を生成する段階とを含む原子間力顕微鏡を動作させる方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
