特許
J-GLOBAL ID：200903047412568470
原子間力顕微鏡および原子間力顕微鏡における試料観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135342
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323834
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 試料の凹凸と摩擦力を良く分離できる原子間力顕微鏡における測定技術を提供すること。【構成】 原子間力顕微鏡において、試料8と探針4に相対的な横振動を作用させる振動装置を備える。また、原子間力顕微鏡において、試料8を横方向に振動させ、この試料8の横振動によって励起されるカンチレバー11の曲げまたは捩じれ振動の位相と振幅を同時に計測し、この計測値を用いて振動振幅像および振動位相像を形成する。試料8を横方向に振動させると、カンチレバー11の曲げ変位及び捩れ角がその釣り合い位置を中心に振動する。捩じれ振動の振幅及び位相には勾配よりも摩擦力の方がはるかに大きい影響を及ぼす。したがって、捩じれ振動の振幅及び位相を測定し記録することによって、摩擦力を強く反映する映像が得られる。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡において、試料と探針に相対的な横振動を作用させる振動装置を備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。
引用特許：
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