特許
J-GLOBAL ID:200903036731895996
ガス分析計及びその校正方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-106167
公開番号(公開出願番号):特開平10-073563
出願日: 1997年04月23日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 連続的に応答性が良く、長時間正確な測定を可能とし、低濃度の被測定ガス成分の測定に際しても高いS/N比が得られ、大きな信号変化を得ることの出来るガス分析計及びその校正方法を提供する。【解決手段】 ガスセンサ100と、ガスセンサ100における第一乃至第三の処理ゾーンを酸素ポンピングするための駆動部101と、第三の電気化学的ポンプセルに流れるポンピング電流を被測定ガス値に演算する演算部102と、演算部102にて演算された値を表示するか、もしくは電気的出力として外部へ取り出す表示出力部103と、ガスセンサ100を所定温度に加熱するヒータ駆動部104とを備えたガス分析計である。また、複数の既知の被測定ガス成分を標準ガスとし、これに対するポンピング電流を検量線として校正するガス分析計の校正方法である。
請求項(抜粋):
外部の被測定ガス存在空間より、測定されるべき結合酸素を有する被測定ガス成分を含む被測定ガスを、所定の拡散抵抗の下に第一の処理ゾーンに導き、該第一の処理ゾーンにおいて、第一の電気化学的ポンプセルによる酸素のポンピング作用にて、該第一の処理ゾーン内の雰囲気の酸素分圧を所定の酸素分圧に制御せしめた後、所定の拡散抵抗の下に第二の処理ゾーンに導き入れ、該第二の処理ゾーンにおいて、更に酸素を第二の電気化学的ポンプセルにて汲み出すことにより、該雰囲気の酸素分圧を、被測定ガス成分量の測定に実質的に影響がない低い酸素分圧値に制御せしめ、更にその後、第三の処理ゾーンに導き、該第三の処理ゾーンにおいて、該第二の処理ゾーンから導かれた雰囲気中の前記被測定ガス成分を還元及至は分解せしめ、その際に発生する酸素を第三の電気化学的ポンプセルにて汲み出すことにより、該第三の電気化学的ポンプセルに流れるポンピング電流を検出するガスセンサと、該ガスセンサにおける前記第一乃至第三の処理ゾーンを酸素ポンピングするための駆動部と、該第三の電気化学的ポンプセルに流れるポンピング電流を被測定ガス値に演算する演算部と、該演算部にて演算された値を表示するか、もしくは電気的出力として外部へ取り出す表示出力部と、該ガスセンサを所定温度に加熱するヒータ駆動部と、を備えたことを特徴とするガス分析計。
IPC (2件):
G01N 27/416
, G01N 27/419
FI (3件):
G01N 27/46 331
, G01N 27/46 327 E
, G01N 27/46 327 P
引用特許:
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