特許

J-GLOBAL ID：200903036738016084

フラットパネルディスプレイ及びその製造方法

発明者： 野口 隆 ,  碓井 節夫 ,  中嶋 英晴
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 大石 皓一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-109433
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296817
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 画素部駆動用の各TFTの特性が均一なフラットパネルディスプレイおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に形成されたアモルファスシリコン薄膜に、550mJ/cm2以下のエネルギー密度を有する矩形状のレーザビームを20ショット以下照射し、アモルファスシリコン薄膜をアニール処理して、多結晶化し、画素部駆動用のTFTを形成する。これにより、画素部駆動用のTFTを構成する多結晶シリコンの結晶粒径が抑えられ、画素部駆動用の各TFTの特性が均一となる。

請求項（抜粋）：

画素部駆動用のTFTを構成する多結晶シリコンの結晶粒径が、前記TFTのチャネル長及びチャネル幅よりも小さいことを特徴とするフラットパネルディスプレイ。

IPC (6件)：

G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (6件)：

G09F 9/30 338 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/20 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 618 Z ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (44件)：

2H092JA24 ,  2H092JA31 ,  2H092JA32 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092MA30 ,  2H092NA24 ,  2H092PA01 ,  5C094AA03 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB05 ,  5C094GB10 ,  5F052AA02 ,  5F052AA03 ,  5F052AA06 ,  5F052BA18 ,  5F052BA20 ,  5F052BB07 ,  5F052DA02 ,  5F052JA01 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG16 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110PP03 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5G435AA01 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10