特許

J-GLOBAL ID：200903036745533116

コーティング、並びにそれを製造するための方法及び装置

発明者： アルコット,グレゴリー,ロベルト ,  クリエイトール,マリアドリアナ ,  リンデン,ヨアネス,レオナルド ,  ファン デ サンデン,マウリティウス,コルネリス,マリア
出願人/特許権者： ネーデルランドセ オルガニサティエ フォール トエゲパストナトールヴェテンシャッペリク オンデルゾエク ティエヌオー ,  テクニシェ ユニベルシテイト アイントホーフェン
代理人 (1件)： 松井 光夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-508290
公開番号（公開出願番号）：特表2007-532781
出願日： 2005年04月14日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

【解決手段】本発明は、低誘電率コーティングが無機及び有機成分を含み、これらの成分のための前駆体が、化学蒸気相のプラズマ活性化沈積のための少なくとも二つのプラズマ源において活性化され、かつ該複数の活性化された前駆体が、それらが基体上に化学蒸気相から沈積されてコーティングを形成する前に一緒にされるところの、低誘電率コーティングを製造するための方法を開示し、該無機成分が多孔性ナノ粒子を含むことを特徴とする。本発明はまた、低誘電率コーティングの製造のための装置を開示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

化学蒸着により基体上に低誘電率コーティングを製造し、かつポリマーマトリックス中にナノ粒子を導入することを含む方法であって、 i)少なくとも一つの低圧の容量結合プラズマ源において該ポリマーマトリックスのための前駆体及び該ナノ粒子のための前駆体を活性化して、それにより、該ナノ粒子のための前駆体物質が負イオンにイオン化されること、 ii)該イオン化プラズマの電界において該負イオンを捕獲すること、 iii)該捕獲された負イオン上への追加の活性化された前駆体物質の縮合を許して、それにより、該プラズマ中で該活性化された前駆体からナノ粒子の形成を許すこと、及び iv)該基体上に化学蒸気相からの該活性化された前駆体及び該ナノ粒子の沈積を許して、コーティングを形成すること を含む方法。

IPC (4件)：

C23C 16/509 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/316 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

C23C16/509 ,  H01L21/31 C ,  H01L21/316 X ,  H05H1/46 M

Fターム (22件)：

4K030AA01 ,  4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030BA48 ,  4K030BA61 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA06 ,  4K030FA03 ,  4K030JA09 ,  4K030KA30 ,  4K030LA02 ,  4K030LA15 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045EH01 ,  5F058BF07 ,  5F058BF25 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BJ02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 低誘電体形成材料および低誘電体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-187704   出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (1件)

• 低誘電体形成材料および低誘電体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-187704   出願人：ジェイエスアール株式会社