特許
J-GLOBAL ID：200903036746754493
液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-081180
公開番号（公開出願番号）：特開2006-263933
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 駆動性能及び耐久性の高い液滴吐出ヘッド及び対向電極にダメージを与えず駆動性能の高い液滴吐出ヘッドを製造できる製造方法等を提供する。【解決手段】 振動板14が形成されるキャビティ基板11と、振動板14とギャップを隔てて対向し、振動板14を静電気力によって駆動する対向電極18と、キャビティ基板11の対向電極18と対向する側の面に形成された絶縁膜31とを備え、絶縁膜31には開口部31a、31bを設け、キャビティ基板11には、ギャップを封止するための封止用貫通孔27が設けられ、絶縁膜31が、金属酸化物又は金属窒化物からなるものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
振動板が形成されるキャビティ基板と、前記振動板とギャップを隔てて対向し、前記振
動板を静電気力によって駆動する対向電極と、前記キャビティ基板の前記対向電極と対向
する側の面に形成された絶縁膜とを備え、
前記キャビティ基板には、前記ギャップを封止するための封止用貫通孔が設けられ、前
記絶縁膜は、金属酸化物又は金属窒化物からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AG55
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057BA15
