特許

J-GLOBAL ID：200903036750293840

テラヘルツ分光装置

発明者： 福島 一城
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-243699
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057407
出願日： 2005年08月25日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】 各種の試料に対応できる汎用性の高いテラヘルツ分光装置を提供する。 【解決手段】 テラヘルツ発生器3、テラヘルツ検出器7及び第1、第2のテラヘルツ光学系4,6を1つのユニット9とした。ユニット9は分光装置本体10の上部に対して着脱可能である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

レーザ光源からの光パルスをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタで分割された前記ポンプ光又は前記プローブ光の時間遅延を行うディレイステージと、 前記光パルスの照射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ発生器と、 前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ検出器と、 前記テラヘルツ波を収束又は平行にして試料に導く第1のテラヘルツ光学系と、 前記試料で反射され又は前記試料を透過した前記テラヘルツ波を前記テラヘルツ検出器に導く第2のテラヘルツ光学系と を備えているテラヘルツ分光装置において、 前記テラヘルツ発生器、前記テラヘルツ検出器及び前記第1、第2のテラヘルツ光学系は1つのユニットとして形成され、このユニットは前記ビームスプリッタ及び前記ディレイステージを有する分光装置本体に対して着脱可能であり、前記ユニット内の前記ポンプ光の光路長と前記テラヘルツ波の光路長とを加算した光路長と、前記ユニット内の前記プローブ光の光路長との差は一定である ことを特徴とするテラヘルツ分光装置。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (10件)：

2G059AA01 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• テラヘルツ分光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-362244   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン