特許
J-GLOBAL ID：200903044741493139

テラヘルツ分光装置

発明者：
岩本 敏志

岩本 敏志 について


出願人/特許権者：
株式会社栃木ニコン

株式会社栃木ニコン について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-362244
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191302
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】1台の分光装置でテラヘルツ光を用いた反射スペクトル測定と透過スペクトル測定を可能とする。【解決手段】テラヘルツパルス光を試料S(位置A)に照射し試料から反射した反射光を検出する反射測定光学系と、テラヘルツパルス光を試料S(位置B)に照射し試料を透過した透過光を検出する透過測定光学系とを切り換え可能とする。反射光または透過光である検出光を、時系列変換テラヘルツ分光により測定する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
テラヘルツパルス光を試料に照射し前記試料からの光を検出する検出光学系を有し、時系列変換テラヘルツ分光により検出光を測定するテラヘルツ分光装置において、 前記検出光学系は、 前記テラヘルツパルス光を試料に照射し、その試料から反射した反射光をテラヘルツ光検出部へ導く反射測定光学系と、 前記テラヘルツパルス光を試料に照射し、その試料を透過した透過光をテラヘルツ光検出部へ導く透過測定光学系と、 前記反射測定光学系と前記透過測定光学系を択一的に切換える切換機構とを備え、 前記切換機構により前記反射測定光学系を選択した場合、および前記透過型測定光学系を選択した場合のいずれの場合もテラヘルツ光の光路長が等しくなることを特徴とするテラヘルツ分光装置。
IPC (2件)：
G01N21/35 ,  G01J3/28
FI (2件)：
G01N21/35 Z ,  G01J3/28
Fターム (25件)：
2G020AA03 ,  2G020CA02 ,  2G020CA14 ,  2G020CB05 ,  2G020CB23 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD13 ,  2G020CD24 ,  2G059AA01 ,  2G059AA03 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059PP04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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