表面疵検査方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010834
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211674
出願日： 1998年01月22日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】単発性疵および群発性疵の疵種・疵グレードを正確に判定できる表面疵検査方法および装置を提供する。【解決手段】疵検出器の出力信号を弁別して疵部を抽出し、この疵部の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵種および疵グレードを判定する表面疵検査方法において、弁別・抽出された各疵部の特徴パラメータに基づいて疵種を判定し、同一の疵種と判定された疵相互間の距離を算出し、所定距離以内の疵を一つの疵に連結し、連結後の疵の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵グレードを判定する。

請求項（抜粋）：

疵検出器の出力信号を弁別して疵部を抽出し、この疵部の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵種および疵グレードを判定する表面疵検査方法において、弁別・抽出された各疵部の特徴パラメータに基づいて疵種を判定し、同一の疵種と判定された疵相互間の距離を算出し、所定距離以内の疵を一つの疵に連結し、連結後の疵の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵グレードを判定することを特徴とする表面疵検査方法。

引用特許：

出願人引用 (3件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-204715 出願人：株式会社東芝
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-235507 出願人：富士ゼロックス株式会社
帯状体の表面欠陥判定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-295154 出願人：日本鋼管株式会社

審査官引用 (3件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-204715 出願人：株式会社東芝
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-235507 出願人：富士ゼロックス株式会社
帯状体の表面欠陥判定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-295154 出願人：日本鋼管株式会社

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