特許
J-GLOBAL ID：200903036790710223
顕微鏡用ガラス層厚み補正器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292205
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140393
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 試料と対物レンズとの間に介在するガラス層の厚みバラツキを補正することにより、顕微鏡の性能を最大限に発揮させ得る顕微鏡用ガラス層厚み補正器を提供する。【構成】 対物レンズ13の下方の光軸22上にこの光軸22に対して垂直な窓部18aを有する固定窓18と、固定窓18の下方の光軸22上にこの固定窓18の窓部18aと平行な窓部19aを有する可動窓19とが設けられ、これら固定窓18と可動窓19との間の空間24には、これら窓18、19を構成するガラスと同等の屈折率を有する光透過液体20が満たされている。そして、空間24に光透過液体20が満たされた状態のまま、窓駆動機構21により可動窓19が上下方向に移動自在とされている。
請求項（抜粋）：
顕微鏡の対物レンズと対象物との間に介在するガラス層を通して顕微鏡により前記対象物の検査を行なうときに、前記ガラス層の厚みバラツキを補正することによって顕微鏡の性能低下を防止するための顕微鏡用ガラス層厚み補正器であって、前記対物レンズの下方の光軸上に該光軸に対して垂直となるように設置され、前記対物レンズから出射された光を透過する第1の透光板と、該第1の透光板の下方の光軸上に該第1の透光板に対して平行となるように設置され、前記光を透過する第2の透光板とを具備してなり、前記第1の透光板と第2の透光板との間の空間にはこれら透光板と同等の屈折率を有する光透過液体が満たされ、前記空間に前記光透過液体が満たされた状態を保ちつつ、前記第1、第2の透光板が前記光軸方向に沿って相対移動自在とされてそれらの相互間隔が調節自在とされていることを特徴とする顕微鏡用ガラス層厚み補正器。
IPC (2件)：
引用特許：
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