端部傷検査方法およびその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：土橋皓 , 土橋皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-156114
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351850
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】傷のない場合における正反射方向へ傷があることによって散乱した散乱反射光と、その他の方向へ散乱する散乱反射光とを、共に測定することにより、縦傷、横傷、斜め傷、および粗い表面粗さ等の端部に生じた欠陥と見做される傷を正確に検出できるようにする端部傷検査方法およびその装置を提供することを課題とする。【解決手段】被検査物の被検査端部にコヒーレント光を照射し、このコヒーレント光が前記被検査端部の傷で反射した正反射方向への散乱反射光を前記被検査端部の直近にて受光し、この受光量に基づき前記被検査端部の横傷を検出し特定するように構成する。

請求項（抜粋）：

被検査物の被検査端部にコヒーレント光を照射し、このコヒーレント光が前記被検査端部の傷で反射した正反射方向への散乱反射光を前記被検査端部の直近にて受光し、この受光量に基づき前記被検査端部の横傷を検出し特定することを特徴とする端部傷検査方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-264851
ハードディスク外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-010132 出願人：株式会社小野測器
特開昭63-208747

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