特許
J-GLOBAL ID:200903036821431484
3次元形状計測装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-269786
公開番号(公開出願番号):特開平11-108623
出願日: 1997年10月02日
公開日(公表日): 1999年04月23日
要約:
【要約】【課題】簡単な構成でありながら、距離方向の分解能を上げ、且つ、一度に広範囲の領域を計測できるようにする。【解決手段】レーザ装置1で発生されたレーザ光2は変調器3に入力され、レーザ光強度変調用発振器4の出力信号により強度変調される。この変調されたレーザ光は、xy軸二次元スキャナー10により任意の仰角・方位角方向に走査されて計測対象物13に照射され、その反射レーザ光が光検出器22に入射する。この光検出器22は、レーザ光出力の強度変調周波数と僅かに異なる周波数で強度変調されており、ビートダウンした結果の低周波信号を受光信号24として出力する。位相差検出回路19は、受光信号24と参照信号18とから、その位相差信号25を出力する。ユーザインターフェース6は、位相差信号25とスキャナ位置情報14とから計測対象物13の3次元形状を求め、表示装置26に表示する。
請求項(抜粋):
レーザ光を発生するレーザ装置と、このレーザ装置から出力されるレーザ光を強度変調する変調手段と、この変調手段により変調されたレーザ光を計測対象物に照射する手段と、前記計測対象物からのレーザ反射光を受光する光検出器と、この光検出器を前記レーザ光の強度変調周波数と僅かに異なる周波数でゲイン強度変調するゲイン変調手段と、前記光検出器における受光信号の強度変調周波数とゲイン強度変調周波数との差の低周波信号を選択する選択手段と、この選択手段により選択された受光信号を処理して3次元形状を計測する処理手段とを具備したことを特徴とする3次元形状計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01S 17/32
FI (3件):
G01B 11/24 A
, G01B 11/00 B
, G01S 17/32
引用特許:
審査官引用 (1件)
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光信号計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-011059
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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