特許
J-GLOBAL ID：200903036824659303
電子ビーム装置及びそのステージのナビゲーション方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275927
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111207
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】基本パターンが配列形成されている試料に対し、レーザ干渉測長器を備えることなくステージを目標位置へ正確に移動させ、また、SEM像上の位置を誤りなく容易に検出する。【解決手段】メモリセル配列中の小領域A0のSEM像を参照パターンとして取得し、ステージを、移動誤差がセル配列のピッチ以下と考えられる所定距離移動させる毎に、小領域A0に対応した比較領域のSEM像を比較パターンとして取得し、比較パターンと参照パターンとのパターンマッチングを行うことによりステージ位置ずれ量を検出し、ステージ移動誤差を補正する。マッチング度が設定値未満であれば異物が存在すると判定し、マッチング度が設定値以上になるところまで比較領域を戻らせ観察点へのステージ移動経路を変更し、又は、マッチング度が設定値以上になるまでその周辺部へ比較領域を移動させ、該周辺部でのパターンマッチングにより補正された位置に基づいて異物位置を補間法で求める。
請求項（抜粋）：
試料が搭載されたステージを現在位置から目標位置まで移動させ、SEM像をメモリ内に取得して表示装置に表示させる電子ビーム装置において、該試料上に基本パターンが規則的に配列形成された配列パターンの一部領域に対応したパターンを参照パターンとして取得し、該ステージを、移動誤差が該基本パターンの配列のピッチ以下と考えられる所定距離移動させる毎に、該参照領域に対応した比較領域のSEM像を比較パターンとして該メモリ内に取得し、該比較パターンと該参照パターンとのパターンマッチングを行うことにより該参照パターンに対する該比較パターンのずれ量を検出し、該ずれ量に基づいて該ステージの移動量を補正する制御装置、を有することを特徴とする電子ビーム装置。
IPC (2件)：
H01J 37/20
, H01J 37/22 502
H01J 37/20 D
, H01J 37/22 502 H
