圧電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-251026
公開番号（公開出願番号）：特開平11-098866
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】圧電アクチュエータを小型化する。【解決手段】薄い平板形状の駆動ブロックより切り離された自由端部と、駆動ブロックに固定された固定端部を有する変位機構部に圧電素子を接合した。この圧電素子の変位により変位機構部が屈曲振動することで、変位機構部と加圧接触している移動体もしくは基盤との間に摩擦が発生する。この摩擦力により、移動体もしくは圧電アクチュエータ自体が移動するものである。薄い平板の駆動ブロックと駆動ブロックに対して突起部分を持たない変位機構部という構成のため、圧電アクチュエータ自体を小型化・薄型化できる。

請求項（抜粋）：

駆動ブロックと、前記駆動ブロック内部に設けられ、前記駆動ブロックに対し自由に可動する自由端部と前記駆動ブロックに固定された固定端部を有する変位機構部と、前記変位機構部の一方の面に接合された圧電素子と、前記変位機構部の他方の面に接触する移動体と、前記圧電素子と電気的に接合された電極と、前記電極に通電する電圧源とを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H02N 2/00 , H01L 41/09

FI (3件)：

H02N 2/00 C , H01L 41/08 C , H01L 41/08 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

小型アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-070181 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-004775
特開平2-046183

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