特許
J-GLOBAL ID：200903036884139805
圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
丹羽 宏之
, 野口 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-324955
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135230
出願日： 2004年11月09日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 光学素子が鏡筒に繋がる固定部から、圧電アクチュエータを用いたパラレルリンク機構により鉛直下向きに吊り下げられる場合、圧電アクチュエータの剛性を落とすこと無く、圧電アクチュエータ内部の圧電素子に、圧縮荷重を加えなければならない。【解決手段】 光学素子が鏡筒に繋がる固定部から、圧電アクチュエータを用いたパラレルリンク機構により鉛直下向きに吊り下げられている場合、圧電アクチュエータの内部に光学素子の重量による引っ張り荷重を圧縮荷重に変換する機構を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電素子と、引っ張り荷重を圧縮荷重に変換する荷重変換機構とを有し、圧電アクチュエータに加えられた引っ張り荷重を荷重変換機構を用いて圧縮荷重に変換し、圧電素子に圧縮荷重を加えることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H02N 2/00
, H01L 41/09
H01L21/30 531A
, G03F7/20 521
, H02N2/00 B
, H01L41/08 C
, H01L41/08 J
, H01L21/30 515D
5F046CB25
, 5F046DA12
, 5F046GA03
, 5F046GB01
