特許
J-GLOBAL ID:200903052082109078

ピエゾアクチュエータとその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 政喜 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-326927
公開番号(公開出願番号):特開平10-173248
出願日: 1996年12月06日
公開日(公表日): 1998年06月26日
要約:
【要約】【課題】 ピエゾアクチュエータにおいて、品質の向上をはかる。【解決手段】 印加される電圧により伸長する複数のピエゾ素子13を備え、各ピエゾ素子13を内部電極14,15を挟んで積層したピエゾアクチュエータ10において、各ピエゾ素子13に穴16を形成し、穴16を貫通して各ピエゾ素子13を支持する支持体17を備えるものとした。
請求項(抜粋):
印加される電圧により伸長する複数のピエゾ素子を備え、各ピエゾ素子を電極を挟んで積層したピエゾアクチュエータにおいて、各ピエゾ素子に穴を形成し、穴を貫通して各ピエゾ素子を支持する支持体を備えたことを特徴とするピエゾアクチュエータ。
IPC (3件):
H01L 41/083 ,  F02M 51/06 ,  H02N 2/00
FI (3件):
H01L 41/08 S ,  F02M 51/06 N ,  H02N 2/00 B
引用特許:
審査官引用 (2件)

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