位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077903
公開番号（公開出願番号）：特開平9-267236
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】装置全体がコンパクトで気体の消費量が少なく、かつテーブルを滑らかに移動させることができるとともに、安定した位置決め再現性が得られる位置決め装置を提供する。【解決手段】被加工物体や測定器などを載置するテーブルをピストンより突出するロッドに連接するとともに、前記ピストンをシリンダ内に遊嵌して移動自在となし、上記ピストンにより分割されるシリンダ内の2つの加圧室にはそれぞれ圧力調整部を備え、上記ピストンとシリンダの間隙に気体を噴出してピストンを静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室に導入し、両加圧室内の圧力を上記圧力調整部によって制御することによりピストンおよびテーブルを駆動するようにして位置決め装置を構成する。

請求項（抜粋）：

被加工物体や測定器などを載置するテーブルをピストンより突出するロッドに連接するとともに、前記ピストンをシリンダ内に遊嵌して移動自在となし、上記ピストンにより分割されるシリンダ内の2つの加圧室にはそれぞれ圧力調整部を備え、上記ピストンとシリンダの間隙に気体を噴出してピストンを静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室に導入し、両加圧室内の圧力を上記圧力調整部でもって制御することによりピストンおよびテーブルを駆動するようにしたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

B23Q 3/18 , B23Q 5/26 , F15B 11/06

FI (3件)：

B23Q 3/18 Z , B23Q 5/26 D , F15B 11/06 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-161281 出願人：京セラ株式会社
特開昭63-026403
特開昭63-026403

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