特許

J-GLOBAL ID：200903036891953780

走査電子顕微鏡及び走査電子顕微鏡の制御方法並びに電子ビームの軸調整方法

発明者： 新 澤 雄 彦
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-415028
公開番号（公開出願番号）：特開2005-174812
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】 電子ビームの軸調整を容易に行うことができる走査電子顕微鏡及び走査電子顕微鏡の制御方法並びに電子ビームの軸調整方法を提供する。【解決手段】 電子ビーム源1と、電子ビーム源1から放出された電子ビーム10が通過する開口部6cを有し、該開口部6cの後方に配置された試料8上に電子ビーム10を集束させる対物レンズ6と、電子ビーム10の軸を調整する軸調整手段4と、電子ビーム10を走査する走査コイル5と、対物レンズ6の該開口部6cより前方に位置する検出器11とを備えた走査電子顕微鏡100において、対物レンズ6の開口部6cを電子ビーム10により走査し、これにより検出される像に基づいて軸調整手段4を制御するための制御手段14が備えられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子ビーム源と、電子ビーム源から放出された電子ビームが通過する開口部を有し、該開口部の後方に配置された試料上に電子ビームを集束させる対物レンズと、電子ビームの軸を調整する軸調整手段と、電子ビームを走査する走査コイルと、対物レンズの該開口部より前方に位置する検出器とを備えた走査電子顕微鏡において、前記対物レンズの開口部を電子ビームにより走査し、これにより検出される像に基づいて前記軸調整手段を制御するための制御手段を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J37/04 ,  H01J37/28

FI (2件)：

H01J37/04 B ,  H01J37/28 B

Fターム (5件)：

5C030AA07 ,  5C030AA08 ,  5C030AB02 ,  5C033UU01 ,  5C033UU04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-134849   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 走査電子顕微鏡の光軸合わせ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-222991   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社

審査官引用 (3件)

• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-061839   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭60-151946
  
• 特開昭61-294745