特許
J-GLOBAL ID：200903036903049650

MEMS光スペクトラムアナライザ及びその波長校正方法

発明者：
斉藤 崇記

斉藤 崇記 について


出願人/特許権者：
アンリツ株式会社

アンリツ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-332817
公開番号（公開出願番号）：特開2006-145270
出願日： 2004年11月17日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】波長測定精度を向上したMEMS光スペクトラムアナライザを提供する。【解決手段】回折格子1と、MEMSスキャナ60と、受光素子2と、既知波長の第1の基準光を出射する波長基準光源3と、第1の基準光の波長と異なる既知波長の第2の基準光を出射する波長基準光源4と、被測定光、第1及び第2の基準光を受けて合波して回折格子1に出射する光合波手段5と、上記電気信号をディジタル値に変換するA/D変換器6と、このディジタル値を受けて順次所定のアドレスに記憶するメモリ7と、メモリ7の上記所定のアドレスに記憶されているディジタル値を読み出して、第1及び第2の基準光がそれぞれ記憶されている第1及び第2のアドレスを検出し、検出したこの第1及び第2のアドレス並びに第1及び第2の基準光のそれぞれの既知波長から所定の関数を導き、この関数を用いて被測定光が記憶されているアドレスを波長に変換する処理手段8とを備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
入射光を受けて波長に応じた角度で回折させる回折格子(1)と、 反射体(35)と反射体駆動手段(50)とを含んで構成され、前記回折格子から入射される前記入射光に対する回折光が、前記反射体の反射面で該回折格子へ反射されて、再び該回折格子で所定の方向に回折されるとき、前記所定の方向に回折された回折光が所望の波長の光となるようにするとともに、該所定の方向に回折された回折光の所望の波長が第1の所定波長範囲を含んで掃引されるように前記反射体の反射面の角度を前記反射体駆動手段により連続的に繰り返して変化させるMEMSスキャナ(60)と、 前記所定の方向に配置され、前記回折格子から出射された前記回折光を受けて電気信号に変換する受光素子(2)とを備えたMEMS光スペクトラムアナライザにおいて、 前記第1の所定波長範囲内の既知波長の第1の基準光を出射する第1の波長基準光源(3)と、 前記第1の所定波長範囲内でかつ前記第1の基準光の波長とは異なる既知波長の第2の基準光を出射する第2の波長基準光源(4)と、 被測定光、前記第1の基準光及び前記第2の基準光を受けて合波し、その合波光を前記入射光として前記回折格子に出射する光合波手段(5)と、 前記受光素子から前記電気信号を受けてディジタル値に変換するA/D変換器(6)と、 該A/D変換器から出力されるディジタル値を受けて、少なくとも前記第1の所定波長範囲に含まれるディジタル値を順次所定のアドレスに記憶するメモリ(7)と、 該メモリの前記所定のアドレスに記憶されているディジタル値を読み出して、前記第1の基準光及び前記第2の基準光がそれぞれ記憶されている第1のアドレス及び第2のアドレスを検出し、検出した該第1のアドレス及び該第2のアドレス並びに前記第1の基準光及び前記第2の基準光のそれぞれの既知波長から所定の関数を導き、導いた該所定の関数を用いて前記被測定光に係わるディジタル値が記憶されているアドレスを波長に変換する処理手段(8)とを備え、前記被測定光に係わるディジタル値から求められる当該被測定光のスペクトラムの波長校正を行うことを特徴とするMEMS光スペクトラムアナライザ。
IPC (1件)：
G01J 3/18
FI (1件)：
G01J3/18
Fターム (9件)：
2G020AA03 ,  2G020CB03 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC02 ,  2G020CC62 ,  2G020CD03 ,  2G020CD34 ,  2G020CD39
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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