光スペクトラムアナライザ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：早川誠志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-325221
公開番号（公開出願番号）：特開2004-157082
出願日： 2002年11月08日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】高速で且つ広い波長範囲の測定を可能にする。【解決手段】回折格子25からの回折光G1を反射するための反射体30を、固定基板31、32と、その縁部から所定幅で所定長さ延設され、その長さ方向に沿って捩じれ変形可能な軸部33、34と、軸部34、34の先端に自身の縁部が連結されて形成され、一面側に反射面が形成された反射板35とによって構成するとともに、反射体30の軸部33、34と反射板35とからなる部分の固有振動数に対応した周波数の電気信号によって反射板35に力を与えて、反射板35を固有振動数またはそれに近い振動数で往復回転させている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定光を入射させるための入射部(22、24)と、前記入射部から入射された被測定光を受ける回折格子(25)と、前記入射された被測定光に対して前記回折格子から出射される回折光を、反射面で受けて前記回折格子へ反射する反射体(30)と、前記反射体から出射された反射光に対して前記回折格子から出射される回折光を受ける受光素子(45)と、前記回折格子に対する前記反射体の反射面の角度を変化させて、前記受光素子が受光する光の波長を可変する反射体駆動手段(41、41′、42、42′、50)とを備えた光スペクトラムアナライザにおいて、前記反射体は、固定基板(31、32)と、該固定基板の縁部から所定幅で所定長さ延設され、その長さ方向に沿って捩じれ変形可能な軸部(33、34)と、前記軸部の先端に自身の縁部で連結されて形成され、一面側に前記回折格子からの回折光を反射するための前記反射面が設けられた反射板(35)とを有しており、前記反射体駆動手段は、前記反射体の軸部と反射板とからなる部分の固有振動数に対応した周波数の電気信号によって前記反射板に力を与えて、該反射板を前記固有振動数またはそれに近い振動数で往復回転させるように構成されていることを特徴とする光スペクトラムアナライザ。

IPC (1件)：

G01J3/18

FI (1件)：

G01J3/18

Fターム (6件)：

2G020CC04 , 2G020CC49 , 2G020CC55 , 2G020CC62 , 2G020CD04 , 2G020CD22

引用特許：

審査官引用 (5件)

光スペクトラムアナライザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-363053 出願人：アンリツ株式会社
ガルバノミラーの製造方法およびガルバノミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-059626 出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
光偏向子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-178085 出願人：日本ビクター株式会社

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