特許

J-GLOBAL ID：200903036911457962

露光装置及び露光方法、光源装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 只友 一行 ,  岡川 広明 ,  湖東 雅弘 ,  大内 洋一郎 ,  平松 和政 ,  西 健爾 ,  濱村 寛 ,  清水 澄人
出願人/特許権者： 三菱電線工業株式会社 ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210251
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035782
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 光センサを頻繁に交換することなく、露光精度を長期間に渡って高精度に維持する。【解決手段】 露光装置に設けられる種々の光センサ、例えば光源16内のビームモニタ、インテグレータセンサ46、反射光モニタ47、ステージ58上の照度計59等の少なくとも1つを、光感応部で発生するフォトルミネセンス光をGaN系結晶から成る受光層で検出する光センサによって構成した。従って、このセンサによれば、露光光を高精度、高感度に検出することができる。また、光感応部を紫外線に対する耐性に優れた材料により形成することにより、経時的な劣化等を効果的に抑制することができる。従って、結果的に、この光センサの情報に基づいて露光量、結像特性等を制御することにより、光センサを頻繁に交換することなく、露光精度を長期間に渡って高精度に維持することができる。

請求項（抜粋）：

エネルギビームによりマスクを照明し、該マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置であって、前記エネルギビームを出力する光源と;前記光源の筐体の内部に設けられ、前記エネルギビームを受けてフォトルミネセンス光を発する光感応部と、該光感応部で発生したフォトルミネセンス光を受光して光電流に係るキャリアを発生するGaN系結晶からなる光検出部と、前記光検出部から光電流を外部に取り出すための複数の電極とを有する第1の光センサを備える露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00

FI (4件)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 516 C

Fターム (44件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CC11 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB20 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC16 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA05 ,  5F046DA07 ,  5F046DA13 ,  5F046DA14 ,  5F046DB01 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DB12 ,  5F046DC01 ,  5F046DC02 ,  5F046DC12 ,  5F046EA02 ,  5F046EB02 ,  5F046EB03 ,  5F046ED01 ,  5F046ED03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA14 ,  5F046FB09 ,  5F046FC04 ,  5F046FC05