特許

J-GLOBAL ID：200903036991376330

受光素子

発明者： 山口 琢己 ,  春日 繁孝 ,  村田 隆彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 中島 司朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-264417
公開番号（公開出願番号）：特開2005-175430
出願日： 2004年09月10日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】 カラーフィルタの製造において色別に異なる顔料等の材料管理を必要としない低コストのイメージセンサを提供することを目的とする。 【解決手段】 受光装置は、半導体基板に複数の受光セル(1a、1b、1c)を形成し、各受光セルは、受光セル毎に定められた波長域の光を透過するフィルタ膜20と、フィルタ膜20を透過した光の輝度に応じて信号電荷を生成する光電変換部17とを備えている。ここで、全ての受光セルに備えられたフィルタ膜20は、受光セル毎に定められた波長域に相応する膜厚(ta、tb、tc)に調整されていることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

半導体基板に複数の受光セルが形成され、各受光セルは、受光セル毎に定められた波長域の光を透過させるフィルタ膜と、当該フィルタ膜を透過した光の輝度に応じて信号電荷を生成する光電変換部とを備えてなる受光素子であって、 各受光セルに備えられたフィルタ膜は、受光セル毎に定められた波長域に相応する膜厚に調整されていること を特徴とする受光素子。

IPC (3件)：

H01L27/14 ,  G02B5/20 ,  H01L31/10

FI (3件)：

H01L27/14 D ,  G02B5/20 101 ,  H01L31/10 A

Fターム (31件)：

2H048BA11 ,  2H048BA47 ,  2H048BA64 ,  2H048BB07 ,  2H048BB08 ,  2H048BB46 ,  4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA19 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5F049MA01 ,  5F049NA18 ,  5F049NB05 ,  5F049PA03 ,  5F049PA14 ,  5F049QA20 ,  5F049SZ07 ,  5F049SZ08 ,  5F049WA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 固体撮像装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-059532   出願人：松下電子工業株式会社