特許

J-GLOBAL ID：200903037000993960

弾性表面波素子およびその製造方法

発明者： 細工藤 龍司 ,  米内 敏文 ,  海老沢 孝 ,  岸田 和人 ,  竹之内 敦
出願人/特許権者： 株式会社日本製鋼所 ,  株式会社ケンウッド
代理人 (1件)： 横井 幸喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-156624
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 レーリー波速度が遅く、電気機械結合係数(K2)が大きい弾性表面波素子を得る。【解決手段】 基板1上に金属薄膜2を形成し、その後、その上層に、1種または数種の遷移金属元素と酸素、硫黄等のVI族の元素からなる圧電性薄膜3を形成し、圧電性薄膜3の表面に電極4を配置する。【効果】 基板上に結晶性が良好で表面性状の良好な弾性薄膜が形成されるので、電極を良好に配置することができ、その結果、特性に優れた表面波素子を得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に金属薄膜が形成され、その上層に1種または数種の遷移金属元素と酸素、硫黄等のVI族の元素からなる化合物の圧電性薄膜が形成されており、該圧電性薄膜の表面部に電極が配置されていることを特徴とする弾性表面波素子

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H01L 41/09 ,  H03H 3/08

FI (3件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H01L 41/08 C

Fターム (9件)：

5J097AA06 ,  5J097AA29 ,  5J097AA32 ,  5J097EE08 ,  5J097FF02 ,  5J097HA03 ,  5J097KK00 ,  5J097KK07 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 弾性表面波素子用薄膜電極及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-006964   出願人：株式会社村田製作所
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-127122   出願人：京セラ株式会社