特許

J-GLOBAL ID：200903037002568833

Y123型結晶膜・多層膜積層体の作製方法

発明者： 山田 容士 ,  田上 稔 ,  中村 優 ,  塩原 融 ,  田中 昭二
出願人/特許権者： 財団法人国際超電導産業技術研究センター ,  旭硝子株式会社 ,  石川島播磨重工業株式会社 ,  三菱電線工業株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108571
公開番号（公開出願番号）：特開平6-321694
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】 比較的安価な装置で簡便に良質なY123型結晶構造を有する酸化物結晶膜または多層膜積層体を作製する。【構成的】 本発明のY123型結晶膜または多層膜積層体の作製方法は、溶剤としてBaO融液またはCuO融液またはBaOとCuOとの混合融液を用い、溶質供給物質から溶質を溶剤を通して基板にまで輸送させ、Y123型結晶構造を有する酸化物結晶の膜を、液相から初晶で、基板上に成長させる。

請求項（抜粋）：

溶剤としてBaO融液またはCuO融液あるいはBaOとCuOの混合融液を用い、溶質供給物質から溶質を溶剤を通して基板にまで輸送させ、Y123型結晶構造を有する酸化物結晶膜を、液相から初晶で、基板上に成長させることを特徴とするY123型結晶膜の作製方法。

IPC (3件)：

C30B 29/22 501 ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01L 39/02 ZAA

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-028300
  
• 超電導接合構造体およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-257005   出願人：住友電気工業株式会社
• 複合酸化物超電導薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-182949   出願人：住友電気工業株式会社