表面マイクロマシンおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019053
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211483
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】センサとして機能する表面マイクロマシンにおいて、角速度の検出に係わる信号ラインを外乱ノイズ等から3次元的に保護する。【解決手段】振動体OCを駆動させる駆動信号が入力される駆動パッド電極35aと、検出電極DTにより振動体OCの変位信号を出力する検出パッド電極35bを備え、駆動パッド電極35aから駆動信号が駆動電極DVへ伝達する駆動信号ライン30a、または検出電極DTから検出パッド電極35bへ振動体OCの変位信号を伝達する検出信号ライン30bの外周を導電材31により3次元的に囲んだ構造とした。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた駆動電極と、前記基板上に一定の空隙をもって設けられた振動体と、該振動体に対向して設けられた検出電極とを備え、前記駆動電極に電圧を印加して前記振動体を駆動させ、前記検出電極により前記振動体の変位を検出し、その変位信号で角速度の検出を行う表面マイクロマシンにおいて、前記振動体を駆動させる駆動信号が入力される駆動パッド電極と、前記検出電極により前記振動体の変位信号を出力する検出パッド電極を備え、前記駆動パッド電極から前記駆動信号が前記駆動電極へ伝達する駆動信号ライン、または前記検出電極から前記検出パッド電極へ前記振動体の変位信号を伝達する検出信号ラインの外周を3次元的にシールドしたことを特徴とする表面マイクロマシン。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-183551
半導体ヨーレートセンサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-296782 出願人：日本電装株式会社
特開平4-242114

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