集積型SPMセンサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：最上健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244864
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086788
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】微弱な入射光を検出可能な高光検出感度を有する光検出素子を備えた集積型SPMセンサを提供する。【構成】カンチレバー部7を構成し光電変換領域及びチャネル領域となるn型半導体部1の先端表面に、チップ部6を突出形成し、該チップ部6及びその近傍の表面にゲート領域となるp+ 型拡散層5を形成する。そしてp+ 型拡散層5の両側のn型半導体部1の表面にn++型ドレイン(ソース)拡散層3とn++型ソース(ドレイン)拡散層4を形成し、該拡散層3,4にコンタクト部8,9を介して金属配線10,11を接続すると共に、n型半導体部1の裏面にはp++型拡散層2を形成して、ホト接合ゲートFETを光検出素子として備えた集積型SPMセンサを構成する。

請求項（抜粋）：

自由端に探針部を有するカンチレバー部と、該カンチレバー部の基端部を支持する支持部と、前記探針部が検出する信号を伝達する信号線を具備した集積型SPMセンサにおいて、前記探針部が接合ゲート型ホトFETからなる光検出素子で構成されていることを特徴とする集積型SPMセンサ。

引用特許：

出願人引用 (5件)

近接視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-299236 出願人：日本電信電話株式会社
高密度光データ記憶装置及び情報書込/読取方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-049181 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
集積回路検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-181412 出願人：富士通株式会社

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審査官引用 (1件)

近接視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-299236 出願人：日本電信電話株式会社

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