特許
J-GLOBAL ID：200903037092623200
スピンバルブ磁気抵抗効果型ヘッドの製造法及びこの製造方法で製造されたスピンバルブ磁気抵抗効果型ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254741
公開番号（公開出願番号）：特開平11-096516
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 スピンバルブ磁気抵抗効果型ヘッドの製造法において、固定側磁性層の磁化方向を所定の磁化方向に確実に向けることを目的とする。【解決手段】 第1の発明は、少なくとも自由側磁性層、非磁性金属層及び固定側磁性層を成膜した後に、該自由側磁性層の磁気異方性を強化する第1の磁界中熱処理をし、前記固定側磁性層の磁化方向を固定するため、それ以前の工程における最高処理温度を超える温度を用いて第2の磁界中熱処理をし、その後に更に磁界中熱処理は行わないことを特徴とする製造方法である。第2の発明は、少なくとも自由側磁性層、非磁性金属層及び固定側磁性層を成膜した後に、該固定側磁性層の磁化方向を固定する第1の磁界中熱処理をし、前記自由側磁性層の磁気異方性を強化する第2の磁界中熱処理をし、更に、磁界無しの状態で熱処理をする、諸工程を含む製造方法である。
請求項（抜粋）：
スピンバルブ磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法に於いて、少なくとも自由側磁性層、非磁性金属層、固定側磁性層及び磁区制御層を成膜した後に、該自由側磁性層の磁気異方性を強化する第1の磁界中熱処理をし、前記固定側磁性層の磁化方向を固定するため、それ以前の工程における最高処理温度を超える温度を用いて第2の磁界中熱処理をする、諸工程を含む製造方法。
引用特許：
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