特許
J-GLOBAL ID：200903037113909370
蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295594
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129429
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：
【要約】【課題】 コーティング装置の溢流中及び排気中の分離剤損失をできるだけ少なくして、蒸着装置をできるだけ迅速に運転準備完了状態にする。【解決手段】 ノズル体(3)が、閉鎖された中空体として形成されており、蒸発容器(1)が、遮断装置(4)によって遮断可能に前記ノズル体(3)に接続されている。
請求項（抜粋）：
シートコーティング装置においてシートに長手方向ストリップの形の分離剤ストリップを蒸着するための蒸着装置であって、電気的なヒータによって加熱される分離剤用の蒸発容器と、生ぜしめられた分離剤蒸気を方向付けるための流出開口を備えたノズル体とが設けられている形式のものにおいて、ノズル体(3)が、閉鎖された中空体として形成されており、蒸発容器(1)が、遮断装置(4)によって遮断可能に前記ノズル体(3)に接続されていることを特徴とする蒸着装置。
FI (2件)：
C23C 14/24 V
, C23C 14/24 M
