特許

J-GLOBAL ID：200903037126332897

プラズマ発生用の電源装置

発明者： 今野 明
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 橋本 剛 ,  小林 博通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-381613
公開番号（公開出願番号）：特開2005-149761
出願日： 2003年11月11日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 気体中でグロー放電を起こしてプラズマを発生させるプラズマ発生用電源装置において、安定したプラズマ環境を生成することによってアーク放電の発生を防止する。【解決手段】 コンバータトランス9の一次側巻線に接続したスイッチングFET10をPWM制御部12によってPWM制御し、高電圧を出力する。出力電圧が例えば1300Vを超えたらオンするオペアンプ18の出力信号に基づいてPWM信号のデューティを狭めて出力電圧を制限し、出力電流が例えば1.2Aを超えたらオンするオペアンプ23の出力信号に基づいてPWM信号のデューティを狭めて出力電流を制限し、出力電圧が例えば40V以下になったらオンするオペアンプ28の出力によりオペアンプ23の基準入力電圧を下げる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

気体中でグロー放電を起こしてプラズマを発生させるプラズマ発生用の電源装置であって、 スイッチング素子と、 前記スイッチング素子の出力信号により駆動されるトランスと、 異常グロー放電領域からアーク放電領域に移行しないように、前記トランスの電圧、電流を制限する制御手段と を備えたことを特徴とするプラズマ発生用の電源装置。

IPC (3件)：

H05H1/46 ,  H02M3/28 ,  H05H1/00

FI (4件)：

H05H1/46 R ,  H02M3/28 C ,  H02M3/28 H ,  H05H1/00 A

Fターム (13件)：

4K029DC33 ,  5H730AA20 ,  5H730AS04 ,  5H730BB23 ,  5H730DD04 ,  5H730EE02 ,  5H730FD03 ,  5H730FG05 ,  5H730XX12 ,  5H730XX13 ,  5H730XX15 ,  5H730XX23 ,  5H730XX48

引用特許：

出願人引用 (2件)

• グロー放電処理装置におけるアーク放電後の復帰方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229490   出願人：日本電子工業株式会社
• スイッチング電源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-329568   出願人：ソニー株式会社