防振X-Yテーブル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内田和男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-150639
公開番号（公開出願番号）：特開2005-331048
出願日： 2004年05月20日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】X-Yテーブルにおいて、駆動系等から水平テーブルに有害な振動を伝えないように機械的に分離し、鋼球(ボール)や潤滑油を全く用いないで滑り摩擦をほとんど皆無にし得て、水平テーブルを互いに直交する二方向に自由にしかも免振状態で移動させることができるようにする。【解決手段】断面形状の少なくとも一部が円弧形状となる円筒外周面21a,22aを有し該円筒外周面に該円筒外周面から圧縮空気を噴出可能とするエア噴出口21bを設けてなる軸21,22と、該軸の円筒外周面と同一の曲率半径に形成された円弧溝31a,32aを有するガイド31,32とを備え、円筒外周面と円弧溝との間に空気圧層を形成することで軸がガイドから浮上し互いに直交する二方向に水平テーブル3を免振状態で移動可能にした構成を特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

断面形状の少なくとも一部が円弧形状となる円筒外周面を有し該円筒外周面に該円筒外周面から圧縮空気を噴出可能とするエア噴出口を設け、前記円筒外周面と同一の曲率半径に形成された円弧溝との間に空気圧層を形成することで該円弧溝から浮上可能に構成したことを特徴とする軸。

IPC (9件)：

F16C32/06 , F16C29/02 , F16C32/00 , F16C32/04 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/03 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (9件)：

F16C32/06 A , F16C29/02 , F16C32/00 C , F16C32/04 Z , F16F15/02 M , F16F15/023 Z , F16F15/03 E , G03F7/20 501 , H01L21/30 503A

Fターム (37件)：

2H097BA02 , 2H097LA10 , 3J048AA06 , 3J048AC08 , 3J048BE02 , 3J048BE08 , 3J048DA01 , 3J048EA13 , 3J102AA01 , 3J102AA02 , 3J102BA08 , 3J102BA11 , 3J102BA14 , 3J102CA02 , 3J102CA11 , 3J102CA15 , 3J102DA07 , 3J102DA11 , 3J102EA02 , 3J102EA07 , 3J102EA13 , 3J102FA04 , 3J104AA52 , 3J104AA53 , 3J104AA63 , 3J104AA67 , 3J104AA70 , 3J104AA76 , 3J104AA79 , 3J104BA80 , 3J104CA13 , 3J104DA02 , 3J104DA06 , 3J104DA13 , 3J104EA07 , 5F046AA23 , 5F046CC17

引用特許：

出願人引用 (1件)

除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-216836 出願人：藤倉ゴム工業株式会社

審査官引用 (6件)

特公昭50-032366
特開昭57-184723
特開平3-218249

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