特許

J-GLOBAL ID：200903058854981378

除振装置

発明者： 海沼 正邦 ,  玉置 恵司 ,  藤田 知正 ,  珍田 寛
出願人/特許権者： 藤倉ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-216836
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031190
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 固定台と可動台との間にそれぞれ、可撓性気密部材を介して垂直方向に拡縮可能な圧力空気室と、水平方向に拡縮可能な圧力空気室とを形成した除振装置の低背化を図る。【解決手段】 可動台30及び可動台30上の載置物の重量に応じ、圧縮空気源の加圧空気を垂直圧力制御系を介して調圧して垂直方向の圧力空気室40に導入することにより、可動台30及び載置物を浮動状態に保持して、垂直方向の振動が可動台30に伝達するのを防ぎ、同時に、一対の水平方向の圧力空気室50にそれぞれの水平圧力制御系を介して加圧空気を調圧して導入することで、可動台30の水平方向の振動も防ぐ防振装置であって、水平方向の圧力空気室50を形成する可撓性気密部材を横長ベローズ51から構成した。

請求項（抜粋）：

固定台と可動台との間に、可撓性気密部材を介してそれぞれ、垂直方向に拡縮可能な圧力空気室と、水平方向に拡縮可能な圧力空気室とを形成した除振装置において、上記水平方向の圧力空気室を形成する可撓性気密部材を、全体として水平方向の軸を有する筒状をなし、軸心を通る水平方向の径が軸心を通る垂直方向の径より大きい横長ベローズから構成したことを特徴とする除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/04 ,  F16F 9/04

FI (3件)：

F16F 15/04 A ,  F16F 15/04 F ,  F16F 9/04

Fターム (10件)：

3J048AA02 ,  3J048AD01 ,  3J048BE02 ,  3J048CB19 ,  3J048DA05 ,  3J048EA13 ,  3J069AA24 ,  3J069AA31 ,  3J069CC40 ,  3J069DD50

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 除振装置、露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-134240   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平2-296023
  
• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-118915   出願人：藤倉ゴム工業株式会社