特許

J-GLOBAL ID：200903037175999589

窒化アルミニウム単結晶の製造方法及び窒化アルミニウム単結晶

発明者： 小林 義政 ,  山田 直仁
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (7件)： 中村 友之 ,  三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄 ,  鈴木 壯兵衞 ,  高久 浩一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-220981
公開番号（公開出願番号）：特開2007-277074
出願日： 2006年08月14日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【課題】結晶性に優れた窒化アルミニウム単結晶を製造する。【解決手段】単結晶製造装置1において、種結晶10は、長さ方向がc軸配向した棒状の窒化アルミニウム単結晶からなり、窒化アルミニウム原料8が結晶成長する側部の露出面は{0001}面に対し90°の傾きを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

露出面が{0001}面に対し90°の傾きを有する結晶成長用基体表面に窒化アルミニウムを結晶成長させることにより窒化アルミニウム単結晶を製造することを特徴とする窒化アルミニウム単結晶の製造方法。

IPC (1件)：

C30B 29/38

FI (1件)：

C30B29/38 C

Fターム (16件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB04 ,  4G077AB06 ,  4G077AB07 ,  4G077BE13 ,  4G077DA02 ,  4G077DA18 ,  4G077EB01 ,  4G077EC07 ,  4G077ED02 ,  4G077ED06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077SA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 窒化物単結晶の製造方法およびその製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-078418   出願人：学校法人早稲田大学, 株式会社フジクラ