特許
J-GLOBAL ID：200903037237341372
薄膜引張試験方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343865
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184794
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 微小な薄膜試験片を破損せず、容易に引張試験することが困難だった。【解決手段】 薄膜引張試験装置10の台座26には、圧電素子を用いた試験片駆動部18が固着され、この上に片持ち梁状の試験片14を支持する基板16が取り付けられる。試験片14の自由端側はプローブ20に静電力で吸着されている。プローブ20は力センサを持つ荷重測定部22に接続される。圧電素子に電圧が印加されると、試験片駆動部18が変形して試験片14に引張荷重を与える。荷重による伸び量と荷重の大きさが測定される。試験片14を電気的にプローブ20に吸着固定したため、機械的固定よりも破損しにくい。
請求項（抜粋）：
薄膜試験片の一端が基板上に固定されるように形成され、他端が自由端になるように形成されているとき、前記自由端側を静電力によって吸着手段に吸着して固定し、この状態で前記基板と前記吸着手段の間隔を広げていくことで該試験片に引張荷重を与え、この引張荷重の大きさを測定することにより引張試験を行うことを特徴とする薄膜引張試験方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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静電チャック
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-088390
出願人：信越化学工業株式会社
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