走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-151105
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059441
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【目的】設計上は同じパターンであるが登録時とわずかに異なって観察されるパターンを安定して検出できるようにする。【構成】試料像30中の複数のパターンを各々モデル35,36,37として観察倍率、観察条件及び試料像中の目的位置33に対するオフセット34とともに登録する。パターン検出時、登録された観察倍率及び観察条件を再現し、モデル35,36又は37を用いて試料像の中からモデルに類似するパターンを検出し、検出されたパターンの位置とオフセットを用いて試料像中の目的位置を検出する。

請求項（抜粋）：

電子線によって試料を走査する手段と、試料から放出された二次電子信号により試料像を形成する手段と、モデルを記憶する手段と、前記試料像の中から前記モデルに類似するパターンを検出する手段と、検出された前記パターンとの間の既知の位置関係を用いて前記試料像中の目的位置を検出する手段とを備える走査電子顕微鏡において、前記走査電子顕微鏡の異なる観察条件、又は前記試料の異なる製造条件で検出される複数のモデルを記憶させ、当該記憶されたモデルの中で前記試料像中のパターンとの類似度の高いモデルを用いて、前記試料像中の目的位置を検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (5件)：

H01J 37/28 , G01B 15/00 , H01J 37/147 , H01J 37/22 502 , H01L 21/66

FI (5件)：

H01J 37/28 B , G01B 15/00 B , H01J 37/147 B , H01J 37/22 502 H , H01L 21/66 J

Fターム (22件)：

2F067AA03 , 2F067CC14 , 2F067CC15 , 2F067EE09 , 2F067EE10 , 2F067GG06 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067MM02 , 2F067PP12 , 2F067RR35 , 2F067SS13 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106CA50 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ21 , 5C033FF06 , 5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (11件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019866 出願人：株式会社日立製作所
位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-263439 出願人：株式会社ニコン
特開昭59-190610

全件表示

前のページに戻る