特許
J-GLOBAL ID：200903037274806245

電子ビーム検査装置

発明者：
前川 郁代

前川 郁代 について

, 
橘内 浩之

橘内 浩之 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-125603
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329328
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】電子ビーム検査装置における試料観察の際に、試料を汚染させない、すなわち、寸法および形状を変化させない方法を提供する。【解決手段】電子ビーム検査装置において、試料を試料室に導入する前に脱ガスする。試料を加熱することにより吸着ガス分子にエネルギーを与えて試料表面から脱離させる。また、これ以外に、オゾン若しくは活性酸素を照射する、イオンビームを照射する、紫外線を照射するなど、吸着ガスにエネルギーを与えることにより除去する方法や化学反応を利用して除去する方法も考えられる。これらの処理は予備排気室で行えば、試料室に複雑な構造を持たせる必要がないため、試料室の機構は従来通りで、試料室の真空を低下させる必要もない。
請求項（抜粋）：
試料室にゲートバルブを介して隣接した予備排気室と、試料室と予備排気室は独立に真空排気されており、試料は予備排気室で所定の圧力まで真空排気された後試料室に導入され、試料室に導入された試料には電子ビームが走査され、得られた二次電子像または反射電子像により試料上のパターンまたはコンタクトホールの寸法および形状を測定,観察する電子ビーム検査装置において、試料に電子線を照射する前に、あらかじめ試料の脱ガスをすることを特徴とする電子ビーム検査装置。
IPC (7件)：
H01J 37/20 ,  G01N 23/225 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/66 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/34
FI (8件)：
H01J 37/20 E ,  H01J 37/20 B ,  G01N 23/225 ,  G03F 1/08 S ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/66 J ,  G01N 1/34 ,  G01N 1/28 L
引用特許：
審査官引用 (2件)

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