特許

J-GLOBAL ID：200903058261693503

走査電子顕微鏡用試料の前処理方法及び装置

発明者： 酒井 稔 ,  神野 義一 ,  下村 順一
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162926
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335449
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目 的】 試料表面のコンタミネーション及びその原因となる炭素を主成分とする汚染物質を除去する機能を備えた走査電子顕微鏡用試料の前処理方法及び装置を提供する。【構 成】 予め走査電子顕微鏡の試料交換室内にて試料表面に水素プラズマ等の炭素との反応性の高い電離物質を接触させ、試料表面の炭素を主成分とする汚染物質を前記電離物質と反応させて試料表面より解離しかつその反応生成物を試料交換室外に排出する。

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡を用いて試料の形態観察をする際に、予め前記走査電子顕微鏡の試料交換室内において、試料ステージ上の試料表面に、電離物質を接触させ、前記試料表面の炭素を主成分とする汚染物質を前記電離物質と反応させて試料表面より解離することを特徴とする走査電子顕微鏡用試料の前処理方法。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/34

FI (4件)：

H01J 37/20 G ,  H01J 37/20 F ,  G01N 1/34 ,  G01N 1/28 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微細構造観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-125582   出願人：株式会社豊田中央研究所