特許
J-GLOBAL ID：200903037276034525
電磁センサ、現像液濃度制御装置および現像液濃度検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002137
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201947
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】TMAHを用いた現像液の濃度をリアルタイムで自動的に検出することができ、且つ、自動制御も可能な現像液の濃度検査方法、濃度検査用電磁センサおよび現像液濃度制御装置を提供する。【解決手段】発信コイルと受信コイルをパーマロイなどを鉄心とするトロイダルコイルで構成し、これを縦に重ねて電磁センサとする。この電磁センサの中空部に現像液が流通する。流通する現像液のイオン濃度により両コイルの電磁結合の強さが変化し、発信コイルに電流が流れたとき、そのときのイオン濃度に対応した誘導電流が受信コイルに流れる。これに基づいて現像液の濃度を検出することにより、非接触で濃度検出が可能になり、電極を使用した場合に比べてロングライフ・メンテナンスフリーになる。
請求項（抜粋）：
中空鉄心の送信コイルと中空鉄心の受信コイルとを前記中空部が一致するように重ね、この中空部が上下に開口するように現像液中に設置される電磁センサ用プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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基板現像装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-255426
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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特開昭60-190873
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特開昭54-124976
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