特許
J-GLOBAL ID：200903037279840239
積層型石英系光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-171292
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027940
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 導波路光回路部品分野に用い、再現性が高く、経済的な積層型石英系光導波路の製造方法を提供する。【構成】 基板1上に下部クラッド層2として石英系ガラスを形成する工程と、上記下部クラッド2を凹型に加工した部分に該下部クラッドガラスより屈折率が高い第一コア層を堆積し、該凹部に光伝搬作用を有する第一層のコア導波路31を形成する工程と、該第一層のコア導波路31の上部に中間クラッド層4と凸型の第二層のコア導波路51を形成する工程と、上部クラッド層6としてコアガラスより屈折率の低い石英系ガラスを形成する工程とにより積層型石英系光導波路を得る。
請求項（抜粋）：
基板上に下部クラッド層として石英系ガラスを形成する工程と、上記下部クラッドを凹型に加工した部分に該下部クラッドガラスより屈折率が高い第一コア層を堆積し、該凹部に光伝搬作用を有する第一層のコア導波路を形成する工程と、該第一層のコア導波路の上部に中間クラッド層と凸型の第二層のコア導波路を、または凸型の第二層のコア導波路のみを形成する工程と、上部クラッド層としてコアガラスより屈折率の低い石英系ガラスを形成する工程とからなることを特徴とする積層型石英系光導波路の製造方法。
引用特許：
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