研磨ヘッド及び研磨装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-293206
公開番号（公開出願番号）：特開2008-110407
出願日： 2006年10月27日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：

【課題】安定して一定の平坦性が得られる研磨ヘッド等を提供することを目的とする。【解決手段】環状の剛性リングと、該剛性リングに均一の張力で接着されたラバー膜と、前記剛性リングに結合され、前記ラバー膜と前記剛性リングとともに空間部を形成する中板と、前記ラバー膜の下面部の周辺部に前記剛性リングと同心に設けられ、前記剛性リングの内径よりも外径が大きい環状のテンプレートとを具備し、圧力調整機構で前記空間部の圧力を変化させることができるものであり、前記ラバー膜の下面部にワークの裏面を保持し、該ワークの表面を定盤上に貼り付けた研磨布に摺接させて研磨する研磨ヘッドにおいて、前記剛性リングの内径よりも前記テンプレートの内径が小さく、該剛性リングとテンプレートとの内径差と、前記テンプレートの内径と外径との差の比が26%以上45%以下である研磨ヘッド。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、環状の剛性リングと、該剛性リングに均一の張力で接着されたラバー膜と、前記剛性リングに結合され、前記ラバー膜と前記剛性リングとともに空間部を形成する中板と、前記ラバー膜の下面部の周辺部に前記剛性リングと同心に設けられ、前記剛性リングの内径よりも外径が大きい環状のテンプレートとを具備し、圧力調整機構で前記空間部の圧力を変化させることができるものであり、前記ラバー膜の下面部にワークの裏面を保持し、該ワークの表面を定盤上に貼り付けた研磨布に摺接させて研磨する研磨ヘッドにおいて、前記剛性リングの内径よりも前記テンプレートの内径が小さく、該剛性リングとテンプレートとの内径差と、前記テンプレートの内径と外径との差の比が26%以上45%以下であることを特徴とする研磨ヘッド。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , B24B 37/00 , H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/04 E , B24B37/00 B , H01L21/304 622K

Fターム (7件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

ウエーハの鏡面研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-092440 出願人：三菱マテリアル株式会社

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