特許

J-GLOBAL ID：200903037302611064

ウェハ接合装置用のロードロック装置、及びウェハ接合システム

発明者： 泉 重人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-180290
公開番号（公開出願番号）：特開2008-010670
出願日： 2006年06月29日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】複数のウェハ接合装置に、接合処理を効率的に実施させることができる、ロードロック装置を提供する。【解決手段】ロードロック装置(101)は、少なくとも一部の側面に複数のウェハ接合装置とのゲートおよび大気雰囲気とのゲートを備える。ロードロック装置は、少なくとも一対の格納室を備え、一対の格納室の一方(105)が、所定のウェハ接合装置へ供給する接合処理前のウェハを格納する場合に、他方(103)が、所定のウェハ接合装置から受け取った接合処理済のウェハを格納する。一対の格納室は互いに鉛直方向に配置され、一方および他方の格納室は、鉛直方向にゲート位置まで移動し、所定のウェハ接合装置または大気雰囲気との間で、ゲートを通してウェハを水平方向に受け渡しできるように構成されたことを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

真空状態の複数のウェハ接合装置から、接合処理済のウェハを受け取ると共に、前記複数のウェハ接合装置へ接合処理前のウェハを供給するロードロック装置であって、少なくとも一部の側面に前記複数のウェハ接合装置とのゲートおよび大気雰囲気とのゲートを備え、ロードロック装置は、少なくとも一対の格納室を備え、前記一対の格納室の一方が、所定のウェハ接合装置へ供給する接合処理前のウェハを格納する場合に、他方が、前記所定のウェハ接合装置から受け取った接合処理済のウェハを格納し、前記一対の格納室は互いに鉛直方向に配置され、前記一方および他方の格納室は、鉛直方向にゲート位置まで移動し、前記所定のウェハ接合装置または大気雰囲気との間で、ゲートを通してウェハを水平方向に受け渡しできるように構成されたことを特徴とするロードロック装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/02 B

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA30 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA07 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェハの接合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-113924   出願人：株式会社ニコン