特許
J-GLOBAL ID：200903037319503770
アーク式蒸発源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-231384
公開番号（公開出願番号）：特開2001-058266
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 陰極の有効利用および交換頻度の低減が可能であり、かつ長時間に亘って成膜速度を一定に保つことのできるアーク式蒸発源を提供する。【解決手段】 このアーク式蒸発源30は、軸方向の長さが直径よりも大きい円柱状の陰極32と、陰極32をその軸に沿って前方に送り出す陰極送り機構48と、陰極32の少なくとも側面を冷却水40によって冷却する陰極冷却機構36と、陰極32の蒸発面33にほぼ垂直ないし当該蒸発面33において外に広がる磁力線54を発生させる磁気コイル52とを備えている。
請求項（抜粋）：
アーク放電によって陰極を溶解させて陰極物質を蒸発させるアーク式蒸発源において、軸方向の長さが直径よりも大きい円柱状の陰極と、当該陰極をその軸に沿って前方に送り出す陰極送り機構と、前記陰極の少なくとも側面を冷却水によって冷却する陰極冷却機構と、前記陰極の先端の蒸発面にほぼ垂直ないし当該蒸発面において外に広がる磁力線を発生させる磁気コイルとを備えることを特徴とするアーク式蒸発源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 9/08 B
, C23C 14/24 F
4E082HA03
, 4K029BC02
, 4K029BD03
, 4K029BD05
, 4K029CA04
, 4K029DA06
, 4K029DB15
, 4K029DD06
審査官引用 (1件)
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磁気駆動プラズマ反応装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-091729
出願人：新日本製鐵株式会社, 中部電力株式会社
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