特許

J-GLOBAL ID：200903037409447410

物体検出センサ

発明者： 保坂 英二 ,  吉田 久志
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143812
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022493
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 物体の大きさに制限されず、如何なる大きさの物体でもその有無検出に供し得て、かつ物体を損傷しない物体検出センサを提供する。【構成】 L型取付け材3の2つのアーム端部にそれぞれ投光型送出部1と、ウェーハ4の有無を検出する受光型検出部2を対向して取り付ける。

請求項（抜粋）：

L形取付け材の2つのアーム端部にそれぞれ送出部と、物体の有無を検出する検出部を対向して取付けてなる物体検出センサ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G01V 8/12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウエハ検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-092509   出願人：神鋼電機株式会社
• 特開平2-148752