特許
J-GLOBAL ID：200903037466735201
電子デバイス検査システムおよび電子デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050308
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251390
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、歩留まりの向上を図った全く新規な電子デバイス検査システムおよび電子デバイスの製造方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、電子デバイスとなるワークを加工する複数の加工装置と、該加工装置を用いて加工したワークを検査する検査装置と、該検査装置が検査した検査結果を該ワークを加工した加工装置単位に出力できるように構成した解析装置とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
電子デバイスとなるワークを加工する複数の加工装置と、該加工装置を用いて加工したワークを検査する検査装置と、該検査装置が検査した検査結果を該ワークを加工した加工装置単位に出力できるように構成した解析装置とを備えたことを特徴とする電子デバイス検査システム。
引用特許：
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