特許

J-GLOBAL ID：200903022428965247

製品の製造方法および生産管理計算システム

発明者： 高橋 繁 ,  内山 実
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-123428
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050949
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】本課題は、大量不良の発生を予防し、製品の品質または特性の安定化とその歩留向上を図るようにした製品の製造方法および生産管理計算システムを提供することにある。【解決手段】製造ラインにおける所望の製造工程と所望の製造設備とについて相互に関係付けして各々における管理基準データを準備し、前記所望の製造工程における製品検査データおよび所望の製造設備における作業データを収集し、この収集された所望の製造工程における製品検査データを、前記関係付けして準備された所望の製造工程における管理基準データと比較することによって製品の品質または特性についての異常有無を評価し、更に前記収集された所望の製造設備における作業データを、前記関係付けして準備された所望の製造設備における管理基準データと比較することによって製造設備についての異常有無を評価し、各々の評価において異常と評価された場合に警告する生産管理計算システム21〜25を用いて、前記製造ラインにより製品を製造することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

製造ラインにおける所望の製造工程と所望の製造設備とについて相互に関係付けして各々における管理基準データを準備し、前記所望の製造工程における製品検査データおよび所望の製造設備における作業データを収集し、この収集された所望の製造工程における製品検査データを、前記関係付けして準備された所望の製造工程における管理基準データと比較することによって製品の品質または特性についての異常有無を評価し、更に前記収集された所望の製造設備における作業データを、前記関係付けして準備された所望の製造設備における管理基準データと比較することによって製造設備についての異常有無を評価し、各々の評価において異常と評価された場合に警告する生産管理計算システムを用いて、前記製造ラインにより製品を製造することを特徴とする製品の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  B23Q 41/08 ,  G06F 17/60

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  B23Q 41/08 Z ,  G06F 15/21 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 工程管理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-113515   出願人：富士電気化学株式会社
• 製造条件の管理指示方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-147744   出願人：株式会社日立製作所
• 生産管理システム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-003326   出願人：本田技研工業株式会社
• 半導体装置の製造管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-122240   出願人：日本電気株式会社