特許

J-GLOBAL ID：200903037475413500

光導波路型グレーティングの製造方法

発明者： 井上 享 ,  茂原 政一 ,  春本 道子 ,  大西 正志
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-151197
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339821
出願日： 1997年06月09日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 所望の特性の光導波路型グレーティングを精度良く製造できる方法を提供する。【解決手段】 本発明は、所定の光の入射により屈折率変化を生じる感光性光導波路を用意し、この光導波路の所定箇所に光を入射させて光導波路型グレーティングを書き込む第1工程と、この所定箇所に加熱処理を施す第2工程と、光導波路型グレーティングの遮断波長を測定する第3工程と、第3工程における測定値が所定の目標値よりも所定量を超えて大きい場合に光導波路の前記所定箇所に加熱処理を施す第4工程と、を備えている。第4工程の加熱処理により光導波路型グレーティング中の光誘起屈折率変化を緩和させてグレーティングの遮断波長を補正する。

請求項（抜粋）：

所定の光の入射により屈折率変化を生じる感光性光導波路を用意し、この光導波路の所定箇所に前記光を入射させて光導波路型グレーティングを書き込む第1工程と、前記光導波路の前記所定箇所に加熱処理を施す第2工程と、前記光導波路型グレーティングの遮断波長を測定する第3工程と、前記第3工程における測定値が所定の目標値よりも所定量を超えて大きい場合に前記光導波路の前記所定箇所に加熱処理を施す第4工程と、を備える光導波路型グレーティングの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/10 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/16

FI (4件)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/10 C ,  G02B 6/16 ,  G02B 6/12 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光導波路型回折格子及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-037097   出願人：住友電気工業株式会社
• 光導波路型回折格子の作製方法及びその作製用光導波路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271243   出願人：住友電気工業株式会社