特許

J-GLOBAL ID：200903037486677704

複屈折測定装置及び複屈折測定方法

発明者： 下田 知之
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-075734
公開番号（公開出願番号）：特開2009-229279
出願日： 2008年03月24日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：

【課題】微細構造を持つフイルムの微細エリアの複屈折を精度よく面測定する。【解決手段】光源11からの光は、コリメータ15、第1の直線偏光板16、第1のλ/4波長板17、カラーフィルタ100、第2のλ/4波長板21、第2の直線偏光板22、テレセントリック・レンズ23を介してCCDカメラ24で受光される。第1のλ/4波長板17の所定角の回転とCCDカメラ24での撮像を第1のλ/4波長板17が1周するまで繰り返す。CCDカメラ24が撮像した画像について、カラーフィルタ100の各エリア毎に対応したCCDの所定の画素毎に、第1のλ/4波長板17の回転に同期した輝度変化のデータを得る。この輝度変化のデータから、各エリア101内の複屈折を算出する。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

被測定試料に光を照射する手段と、 前記被測定試料を透過した透過光から平行光成分を抽出し、該平行光成分を用いて結像する結像手段と、 前記結像した透過光を面受光素子により画像データに変換する手段と、 前記画像データに基づいて前記被測定試料の所定のエリア毎の複屈折を算出する手段と、 前記所定のエリア毎の複屈折に基づいて前記被測定試料の複屈折分布を算出する手段と、 を備えたことを特徴とする複屈折測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/23 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01N21/23 ,  G01M11/00 T

Fターム (13件)：

2G059AA02 ,  2G059BB15 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG04 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK04 ,  2G059NN01 ,  2G059NN06 ,  2G086EE05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 偏光顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-177049   出願人：株式会社ニコン
• 複屈折の測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-223192   出願人：株式会社リコー