感光性組成物およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344686
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134415
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【目的】短波長の紫外線又は電離放射線での露光を適用でき、且つドライエッチング耐性に優れ、更に露光、アルカリ水溶液による現像での許容性を大きくでき、良好な断面形状を有する微細なパタ-ンを形成が可能な感光性組成物を提供しようとするものである。【構成】軟化点 150°C以上であり且つ平均分子量3000〜8000であるアルカリ可溶性重合体と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物と、少なくとも1個の酸により分解する置換基を有し、且つ分解後の生成物がアルカリ溶液中で-COO-又は-SO3 -を生じる化合物とを含有することを特徴とする。【効果】化学放射線の照射部分が、アルカリ現像液に対して選択的に溶解除去され、高解像度のポジ型パターンが形成され得る。

請求項（抜粋）：

少なくとも1個の酸により分解する置換基を有し、且つ分解後の生成物がアルカリ溶液の作用によって-COO-又は-SO3 -を生じる、酸により分解する化合物と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有する感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-181150
特開平2-181150
特開平2-181151

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