特許
J-GLOBAL ID：200903037556712049
X線応力測定方法及びX線応力測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-155702
公開番号（公開出願番号）：特開2001-336992
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 従来のX線応力測定方法では、角度をψを変更するとX線の侵入深さが異なり、異なる深さの応力を測定することがあった。【解決手段】 X線源2からのX線を被測定物1に所定角度で入射し、該被測定物1で回析したX線をX線検出器3で検出し、該検出値に基づいて内部応力を測定するX線応力測定方法において、被測定物の任意箇所に被測定物表面に対して設定角度でX線源より入射させ、被測定物1上のX線照射点Pを通り被測定物1表面で入射X線r1と直角なω軸と、試料台16と平行で、ω軸を回転させた時に、入射X線r1と一致するχ軸を中心に被測定物を回転させるときに、X線照射点Pと入射X線r1と回析X線r2をとおる面における、被測定物表面1表面と入射X線r1とのなす角が一定となるように被測定物を回転させながら、回析面の法線Nと被測定物面の法線Lとのなす角度ψを変化させて、回析線を測定する。
請求項（抜粋）：
X線源2からのX線を被測定物1に所定角度で入射し、該被測定物1で回析したX線をX線検出器3で検出し、該検出値に基づいて内部応力を測定するX線応力測定方法において、被測定物の任意箇所に被測定物表面に対して設定角度でX線源より入射させ、被測定物1上のX線照射点Pを通り被測定物1表面で入射X線r1と直角なω軸と、試料台16と平行で、ω軸を回転させた時に入射X線r1と一致するχ軸を中心に被測定物を回転させるときに、被測定物表面1表面と入射X線r1とのなす角が一定となるように被測定物を回転させながら、回析面の法線Nと被測定物面の法線Lとのなす角度ψを変化させて、回析線を測定することを特徴とするX線応力測定方法。
IPC (3件)：
G01L 1/00
, G01L 1/25
, G01N 23/20
G01L 1/00 A
, G01L 1/25
, G01N 23/20
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001JA06
, 2G001JA08
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001KA07
, 2G001PA12
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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