特許

J-GLOBAL ID：200903037558983260

冷陰極装置の製造方法

発明者： 武村 久 ,  吉木 政行
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066668
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353467
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 カーボン材料膜より成るエミッタを有する冷陰極装置において、カソード電極上に連続膜よりなるカーボン材料膜を選択的に形成する製造方法を提供する。【解決手段】 カソード電極と、カソード電極上に形成されたカーボン材料膜と、開口を有するゲート電極よりなる冷陰極装置において、少なくとも絶縁膜3の開口に露出したカソード電極2上を選択的に連続的なカーボン材料膜5aで覆うとともに絶縁膜の開口に露出したカソード電極上以外の領域は成長開始速度が遅い犠牲層8を形成することにより、非連続なカーボン材料膜5bが形成される。これにより、容易に不要なカーボン材料膜はリフトオフ除去され、簡便に連続的なカーボン材料膜をカソード電極上に形成できる。

請求項（抜粋）：

カソード電極と、前記カソード電極上に形成された電子放出材料と、前記電子放出材料上に開口を有するゲート電極よりなる冷陰極装置の製造方法であって、少なくとも前記絶縁膜の開口に露出した前記カソード電極上に、選択的に、連続的な電子放出材料を覆う工程を有することを特徴とする冷陰極装置の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/02 ,  C23C 16/26

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/26

Fターム (12件)：

4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CB08 ,  4G046CC06 ,  4K030AA10 ,  4K030BA27 ,  4K030BA28 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フィールドエミッタ素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-220413   出願人：昭和電工株式会社
• カーボンナノチューブの製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008461   出願人：キヤノン株式会社