大気圧プラズマ噴流

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-534728
公開番号（公開出願番号）：特表2001-508951
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】本発明は、大気圧で、および13.56MHzのrfエネルギーを使用してほぼ室温で作動することができるγモード共鳴空洞プラズマ放電18が記載されている。プラズマトーチとは異なり、放電は約300Wの適用電力で250°Cより熱くない気体相の放出を作り出し、別の非熱特性を示す。最も簡略な設計においては、2つの同心の円筒状電極14,20が、その間の環状領域でプラズマを生じさせるために利用されている。電極14,20の開いている端部を越えて8インチまで伸びている、金属およびその他の物質を急速に洗浄したり、エッチングすることができる長寿命の準安定原子および反応性種22の「噴流」が生じる。アークの発生は、イオン化を制限するHeを含む気体混合物を使用することによって、高い流速を使用することによって、および適切にrf動力式電極14を整形することによって、装置内で防がれる。低温プラズマソースおよび従来のプラズマとは異なり、大気圧動作のため、どのイオンも、ワークピースをボンバードするほど活性プラズマ放電を超えて充分に長い距離生き延びない。

請求項（抜粋）：

大気圧プラズマ放電を生成する装置であって、該装置が、 a少なくとも1つの閉じている端部、少なくとも1つの開いている端部および長手方向の軸とを有する、導電性を備え、接地された少なくとも1つの円筒状チャンバと、 b長手方向の軸を有する該円筒状チャンバ内に位置づけられ、電極の長手方向の軸が該円筒状チャンバの長手方向の軸と同一直線上になるように設けられ、該円筒状チャンバによって環状領域を構成している該円筒状電極と、 c該環状領域を通って気体を流すための手段と、 d連続プラズマ放電が該円筒状電極と接地されたチャンバとのあいだで発生するように、rfエネルギーを該円筒状電極に供給し、プラズマ放電の気体状生成物が該円筒状チャンバの開いている端部から出て行くための手段とを組み合わせてなる大気圧プラズマ放電生成装置。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , H05H 1/24 , H05H 1/46

FI (3件)：

H01L 21/302 B , H05H 1/24 , H05H 1/46 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

大気圧放電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062746 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
回路用基板のプラズマ処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-032489 出願人：松下電工株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
特開平4-246184

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